Шаблоны отслеживают соответствие линейных размеров при проверке параметров углублений, уступов, расстояний между параллельными поверхностями. Находят применение при контроле деталей сложной формы 11—17 квалитета точности. Примером использования служит применение шаблонов при изготовлении и ремонте железнодорожных рельсов (определение правильности головки рельса и расстояния между ними).
Профильные шаблоны предназначены для определения отклонения деталей сложной формы. Шаблон представляет собой повторение формы изделия, его прикладывают к детали и визуально определяют просветы. Для плоских изделий применяются накладные шаблоны.
Щупы — это плоскопараллельные пластинки, изготовленные из пружинной или закаленной стали. Используются для определения величины зазоров между поверхностями. Не являясь измерительным прибором, нашли широкое применение в технике. Выпускаются наборы щупов от 10 до 17 штук в каждом, длиной 50, 100, 200 мм, при толщине от 0,02 до 1 мм. При измерениях допускаются только «плюсовые» отклонения.